Pluto30是专为研发而设计的全功能等离子体系统，13.56MHz射频发生器和自动匹配网络电源在整个过程区域产生均匀的等离子体。Pluto30的真空腔可支持多达7个可调节样品架，以容纳各种形状尺寸的样品。Pluto30具有多种电极设置，可配置成RIE和PECVD模式，从而扩大了该系统的应用范围，提供给用户无与伦比的灵活性。
对于Pluto30的稳定性和优异性能，我们一直怀有坚定的信念，能让客户体验到高端设备的品质和操作的便捷，作为深硅刻蚀的配套设备，Pluto30能够很好的扮演前期样本预处理的较色，并且不会让操作者失望。
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所调研了众多等离子表面处理系统的技术参数，上海沛沅根据客户的技术要求，向苏州纳米所提供了可以满足老师所有技术参数要求的Pluto30等离子表面处理机，经过多次技术交流后，客户最终确认采购上海沛沅仪器设备有限公司的Pluto30等离子表面处理机。
（上海沛沅仪器工程师现场为客户安装调试Pluto30）
