1. 真空腔规格: 不锈钢腔体,直径150mm*(深)245mm
2. 电极:平板气浴电极,材质6061-T6铝合金
3. 电极尺寸:95*170mm
4. 频率:40KHz (可选配13.56MHz射频等离子源)
5. 功率:0-200W连续可调,精度1W,可在设备运行中随时调整参数
6. 气体控制:针式气体流量阀, 0-300ml 1路气体
7. 真空计:电偶式真空计,精度:0.01mTor
8. 控制方式:4.3寸工业控制触摸屏,全手动控制和全自动控制两种控制方式
控制软件功能:界面显示实时工作状态