等离子清洗技术是目前最优秀、最有效的表面处理和改性技术，能有效地对引线框架表面进行微处理，提高了表面的微观粗糙度和浸润性，促进塑封料与引线框架表面的共价
键键合，有利于提高粘接强度。
等离子清洗机的清洗反应不同，与被激发的气体组成有很大关系，如下表所示为等离子清洗类型，主要反应气体及反应物质对照表。
等离子清洗机的清洗工艺中，使用氢气或氧气作为反应性气体时，物理反应与化学反应也是共同存在并同时作用在物体表面上，因此在这里我们重点讨论物理反应对引线框架
表面的影响。离子在等离子体产生的自偏压环境下被加速从而带有动能，然后轰击引线框架表面，达到去除物体表面污染物的目的。
实验结果
三类表面材质的引线框架经过多次等离子清洗，分别完成塑封及后固化流程，扫描结果如表所示。
三种引线框架均表现出空洞异常数量随着等离子清洗次数的增加而增加，其中裸铜框架表现更加明显。
结论
通过对引线框架进行多次等离子清洗试验，塑封前适度的等离子清洗对框架表面的浸润性有很大的改善，有利于提高塑封料与引线框架表面的结合；
不同的引线框架表面材质达到塑封前的最佳状态时，所需要的等离子清洗次数不同，越活泼的金属需要的等离子清洗次数越少。
