基于PEDOT∶PSS的高灵敏度宽量程透明聚合物应变传感器
样品简介：
柔性应变传感器通常难以兼具高灵敏度、宽量程以及透明的性能。提出一种导电层为聚(3,4-乙烯二氧基噻吩)-聚(苯乙烯磺酸)(PEDOT∶PSS)的三明治结构聚合物柔性应变
传感器,该传感器在兼顾高灵敏度和宽量程的同时具有高透明性。通过旋涂工艺在聚二甲基硅氧烷(PDMS)基底上制备了可拉伸的透明导电聚合物薄膜；基于掩模氧等离子体
刻蚀工艺对聚合物薄膜进行了图案化处理;通过拉伸得到表面具有微裂纹的全聚合物柔性应变传感器。
等离子清洗机处理：
真空干燥箱中加热2 h，烘干后随炉自然冷却。③图案化导电单元:以镂空的钢网作为掩蔽层与上一步得到的聚合物薄膜紧密贴合;将钢网掩蔽下的聚合物薄膜放入等离子清洗机 (PLUTO-F,上海沛沅仪器设备有限公司)中以150 W的处理功率处理900s,得到图案化的导电单元。
PDMS/PEDOT∶PSS/PDMS柔性透明应变传感器的制作流程
PLUTO-F(14.5L)实验室方腔等离子清洗机
PLUTO-F型等离子体表面处理系统是一款功能强大的桌面型表面等离子体设备，非常适合于高校、科学研究所和企业实验室，或者小批量生产，需要低成本运作且高效处
理的企业。它具备等离子设备几乎所有的功能，具有较大的腔体尺寸和灵活的电极配置方式
