放电气压和射频功率对等离子清洗机功率电极自偏压的影响
由于电子和离子在质量上存在巨大的差异，这就导致在放电过程中电子总是优先到达电极板，当体等离子体与电极板两者之间达到动态平衡时，在电极板上就会形成 一个厚度
在毫米量级的射频鞘层，同时在射频鞘层内自发形成一个直流自偏压，以维 持体等离子体的电中性条件。
如果考虑对称电极，则加在功率电极上的射频偏压近似等于功率电极上射频电压的一半；而绝大多数容性放 电都属于非对称放电，这是因为接地电极的面积比接驱动电源高
压的电极面积大很多，在这种放电中，等离子体与驱动电极间的直流电压比等离子体与接地电极间的高。
放电气压的增加导致电子与气体分子碰撞频率加剧，电子温度降低，这就使得电子没有足够的能量越过等离子体鞘层势垒,到达电极板；
放电气压增加的同时电子密度也不断的增大，从而压缩了功率电极板上的鞘层厚度；
此外，气压的增加也导致了离子在鞘层场中运动受到了频繁的中性粒子的散射。这些都是极板自偏压随气压增加而下降的重要原因。
PLUTO等离子清洗机
