1.冷等离子体
按照热力学平衡分类，等离子清洗机的等离子体可分为高温和低温两种，而低温等离子体又可以进一步分为热等离子体和冷等离子体。
冷等离子体是在低气压和高频电场中发生辉光放电，带电粒子碰撞造成气体电离产生。冷等离子体表面改性技术之所以能够吸引大量人员对它研究，主要因为以下三大优点：
1）效率高，几秒至几分钟的处理就能获得令人满意的效果；
2）只改变聚合物表面几十至几百个纳米内的物理及化学性质，不损伤其主体力学及耐热性能；
3）干法处理，不需要使用化学试剂，不会造成污染，符合现代社会低碳环保的主流发展趋势。
目前，冷等离子技术已广泛应用于诸多领域，预期未来将会获得越来越重要的应用。
2.带电粒子
冷等离子体气氛中的带电粒子、亚稳态粒子和紫外光所具有的能量在几至几十个电子伏内， 而聚合物中化学键的键能一般只有几个电子伏 ， 因此等离子体作用足以使聚合物
分子激发 、离解和电离，引发化学键的断裂排，形成新的化学结构 ， 从而实现对表面的化学改性 。此外 电子具有极高的动 能 ， 能量高达，因此能在聚合物表面产生强烈的
溅射作用， 改 变 表面形貌 虽然电子温度极高 ， 但气氛中其他离子和分子的温度与环境相同 ， 一般在几百内，因此冷等离子体才能在不 损伤被处理聚合物的前提下实现对其
表面性质的改性。
3.改性机理
冷等离子体改性可同时实现表面清洁、表面刻蚀、表面消除、表面交联和表面化学改性等几大作用，并且这些作用不止发生在等离子体处理过程中，当被处理过的聚合物暴露
在空气中时自由基也会引发与氧气、水蒸气的化学发硬。以上这些勇总的相对强弱受到等离子体气氛中活力粒子物种、浓度以及能量大小的影响，表现在改性结果随所用气体
及工艺条件的改变而不同。如果利用冷等离子体处理生产的活性物种引发与某种单体的聚合反应，还可以实现表面接枝改性。
PLUTO系列等离子清洗机
