期刊名称：基于PEDOT∶PSS的高灵敏度宽量程透明聚合物应变传感器
柔性应变传感器通常难以兼具高灵敏度、宽量程以及透明的性能。提出一种导电层为聚(3,4-乙烯二氧基噻吩)-聚(苯乙烯磺酸)(PEDOT∶PSS)的三明治结构聚合物柔性应变
传感器,该传感器在兼顾高灵敏度和宽量程的同时具有高透明性。通过旋涂工艺在聚二甲基硅氧烷(PDMS)基底上制备了可拉伸的透明导电聚合物薄膜;基于掩模氧等离子体
刻蚀工艺对聚合物薄膜进行了图案化处理;通过拉伸得到表面具有微裂纹的全聚合物柔性应变传感器。
实验中采用PLUTO-F等离子清洗机对聚合物薄膜样品进行处理：
将传三感明器治的结结构构透设明计柔性应变传感器的敏感单元设计为蛇形结构。一方面,相较于传统的线性结构,敏感单元设计成蛇形结构会增加传感器对应变的感应面积;
另一方面,蛇形结构的敏感单元使得传感器在内部具有更长的路径,从而提高了传感器的灵敏度。
