PDMS应用案例
PDMS是一种常见的有机聚合物材料，以其原材料价格便宜、制作周期短、耐用性好、封装方法灵活及其与多种材料能形成很好的密封等特点，
在电子医学等多方面有巨大的应用前景。
微流控PDMS芯片通常采用等离子体处理的方法来获得。采用等离子清洗机来键合微流控PDMS芯片，不同的工艺参数将会影响到PDMS芯片
的键合强度。良好的键合牢固的芯片的耐压强度可以达到3-5 bars的耐压值。
本次，我们使用实验室常规小型等离子清洗机PLUTO-T型作为实验设备，对PDMS键合进行实验。
材料：PMDS 处理设备：PLUTO-T 频率：13.56MHz
