据沛沅小编了解，真空等离子清洗机的真空泵，如果没有特殊要求大多可选配旋片式油泵。
这种泵的工作原理是利用机械方法对真空反应腔体进行抽气，当抽到能满足等离子放电的真空度时，维持工艺气体的进入和等离子反应副产物的去除，以保证等离子放电的稳定性。
真空泵与真空反应腔体、真空计、挡板阀、进气管、法兰等连接管路构成真空等离子清洗机的真空系统。
真空等离子清洗机选配旋片式油泵，主要原因是投入成本低，维修方便，尤其适合对等离子清洗的产品或材料的工作环境没有特殊要求的场所。
1真空等离子清洗机的真空泵储油箱拆解
①拆解真空泵油箱前先将真空泵油放出，用内六角扳手将放油口螺丝拧下，将真空泵内的真空油排尽；
②用内六角扳手将真空泵油箱的紧固螺丝拆除；
③拆解储油箱时注意不要损坏储油箱密封垫。
说明：手套、口罩和装废油的袋子，是维护真空泵前三种必备的小东西。不同的行业和产品，等离子清洗形成的废气和真空泵油反应会生成各种脏污，尤其要注意是否有腐蚀性和毒性的气、液体对人体造成伤害。
2真空等离子清洗机的真空泵排气阀拆解
①排气阀片护盖拆除，折下保护盖的坚固螺丝，取下保护盖，注意不要损坏密封圈；
②排气阀片压板拆解除；
③排气阀片拆解除。
3真空等离子清洗机的真空泵转子拆解
①将转子的紧固螺丝拆除；
②拆除小旋片盖板，同时检查小旋片磨损情况；
③二级转子缸室拆解并检查二级旋片磨损情况，注意检查油路是否堵塞。
4真空等离子清洗机的真空泵止逆阀拆解
①将真空泵进气口的紧固螺丝拆除，取下进气口，注意不要损坏密封圈；
②取下止逆阀的限位卡簧，将止逆阀取出，检查气路及油路是否堵塞、检查止逆阀是否有阻力过大和损坏现象；如止逆阀卡死，拆除时注意不要损伤泵体。
5真空等离子清洗机的真空泵的组装
真空泵内部清洁完成后，按照拆解的反向顺序将各组件逐一装回，组装时注意检查，避免部分小组件漏装，并且保证每一个工件安装到位。
沛沅小编提醒大家注意：等离子清洗机的真空泵组装完成后不要忘了注入全新的真空泵油，注意观察加油的量是否在标准油位。禁止没有加入真空泵油让旋片空转！
