小型量产设备Pluto-T型等离子设备安装

PLUTO-F(14.5L)方腔等离子清洗机

PLUTO-F型等离子体表面处理系统是一款功能强大的桌面型表面等离子体设备，非常适合于高校，科学研究所和企业实验室，或者小批量生产；需要低成本运作；高效处理的企业。具备等离子设备几乎所有的功能，具有较大的腔体尺寸和灵活的电极配置方式。可用于更大的型的应用，包括生产水平的应用.

PLUTO-F灵活的电极布置，不仅可以实现小批量生产还可以应用于8寸晶圆的去胶和表面处理。

配置情况：

功率：500W

频率：13.56MHz

2路MFC，皮拉尼真空计