射频等离子体清洗机核心部件就是射频电源和匹配器，可能会遇到电源启动正常而腔体不放电的情况，多半是因为匹配器工作不正常，今天沛沅小编给大家分享一下遇到这个问题的解决办法：
一、匹配器故障说明
1.空气电容损坏
故障原因：空气电容在运行过程中摩擦产生导电杂质，造成局部短路；摩擦导致动片轴损坏，无法正常调节。
2.进口晶体管故障
故障原因：与空气电容动片轴损坏有关，空气电容无法正常工作，射频输出阻抗无法调节，导致晶体管击穿；在使用过程中，匹配器初始值调节不当，匹配时间过长或真空腔体内辉光放电不稳定也会造成晶体管损坏。
二、等离子体清洗机匹配器日常使用注意事项
1.定期对真空腔体内的插针公母头进行检查，防止有严重氧化及断裂现象。
2.确认电极板摆放正确，无顺序错误；在使用过程中如需调节极板数量及间距，必须确认匹配器自动匹配状态，如匹配时间较长，则需调节初始值。
3.定期确认匹配器的初始值，长时间使用可能会出现初始值偏移的状况，需要定期确认并根据实际情况调整。
4.如出现初始值严重偏移，则需确认匹配器内部和空气电容叶片是否错位及是否有打火现象，如出现此类情况，需及时处理。空气电容的固定叶片及动片在调到最大时是基本重合的；如出现打火现象，确认叶片有无烧坏，如烧坏可将烧坏位置打磨后再使用，叶片之间的距离太近也会出现打火现象。
5.如等离子体清洗机出现电容无法调节的情况，可打开匹配器，手动控制调节电容，确认叶片电容能否正常旋转。需留意电机与空气电容的传动部分是否有无法转动的情况，出现卡死需及时报修，如出现齿轮与轴之间打滑，可先自行处理。
