浙江大学科创中心PLUTO-30等离子清洗机顺利安装
浙江大学科创中心经过多方调研对比，最终选择购买我司的PLUTO-30等离子清洗机/等离子去胶机，主要应用于8寸硅片的去胶和表面改性。对于PLUTO-30等离子
清洗机的去胶效果，客户表示非常满意！
PLUTO-30等离子清洗机是专为研发而设计的等离子表面处理机，13.56MHz射频发生器和自动匹配网络电源在整个过程区域产生均匀的等离子体，对于样品的等离子
表面清洗处理、灰化、光刻胶去除，聚合物去除等方面都有很好的效果。
PLUTO-30等离子清洗机的真空腔可支持多达7个可调节样品，以容纳各种形状尺寸的样品。PLUTO-30具有多种电极设置，可配置成RIE和PECVD模式，从而扩大了该系
统的应用范围，提供给用户无与伦比的灵活性。
上海沛沅仪器设备有限公司专业致力于真空等离子清洗机/等离子表面处理机等设备的研发和生产，并致力于等离子体应用技术的市场推进和产业化。
PLUTO系列等离子清洗机受到众多高校、科研院所及企业的认可，我们会继续提供优质的等离子设备和服务，用科研的沉淀和应用的创新，为中国的制造业崛起和全球化战
略尽自己的义务和责任。
