(1)材料表面的刻蚀-物理作用：等离子体中的大量离子.激发态分子.自由基和其他活性粒子作用于固体样品表面，等离子清洗技术不仅可以去除表面原有的污染物和杂质，而且产生腐蚀作用，使样品表面粗糙，提高固体表面的润湿性能。
(2)激活键能，交联功能：等离子体作用于固体表面后，固体表面的原化学键可以断裂，等离子体中的自由基与这些键形成网状交联结构，极大地激活了表面活性。
(3)形成新的官能团-化学作用：如果将反应性气体引入放电气体，活化材料表面会发生复杂的化学反应，引入新的官能团，如烃基.氨基.羧基等，这些官能团都是活性基团，能显著提高材料的表面活性。
等离子清洗机的工作基本原理是等离子清洗机在真空状态下，利用真空泵将工作室进行抽真空达到低真空度，再在高频发生器作用下，将气体进行电离，形成等离子体（物质第四态），然后利用等离子体对工件进行表面处理。
等离子态显著的特点是高均匀性辉光放电，根据不同气体发出从蓝色到深紫色的色彩可见光。
这些高度活跃微粒子和处理的表面发生作用，因此经由低温等离子清洗机处理后的PET得到了表面亲水性、高度清洁、激活等各种表面改性。
使用真空等离子清洗机生产出的产品远比老式工艺生产出的产品，其粘接效果更牢固，更加高效便捷，环保节能。
等离子清洗机可以广泛应用于电子、汽车、纺织、包装印刷、生物医疗等行业，等离子清洗机的特点为处理效率高、重复性和稳定性良好，操作方便，广泛适用于清洗、活化处理、从而提高粘结力和附着力。
