2.无输出功率
首先在射频源的输出接上50Ω的假负载，以此判断是射频源问题还是射频源之后的故障。若是接上假负载以后功率指示为零，说明射频源有问题，维修射频源。若接上假负载后功率指示不为零，说明射频源完好，可检查射频线缆是否短路、腔体是否污染等。
真空问题
等离子清洗机直空系统的好坏，是影响清洗质量的重要因素之一，对真空系统的保养维护主要从以下几个方面入手:
(1)定时检查真空度，及时更换各个连接处的密封圈。例如刻蚀腔体和预真空室隔离门，由于经常开合。很容易导致密封圈磨损而漏气，应及时更换。
(2)定期保养真空泵组，真空泵组由机械泵和分子泵组成。应经常检查机械泵和分子泵的油面是否在厂家标定的最高允许液面和最低允许液面之间。平时多留意机械泵的抽速，一日机械泵抽速变慢，要及时检查机械泵，否则很容易引起分子泵故障。
熟练掌握真空等离子清洗机的原理与组成构造，掌握影响等离子清洗工艺的各方面因素，可以极大的缩短设备故障后的修复时间。另外，定期对等离子清洗设备进行保养也是保证设备稳定的一个重要手段。
