传统的电容耦合式等离子清洗机结构，即内平行极板。系统由三大部分组成包括真空系统、放电系统和控制系统。
在容性耦合等离子产生装置下，电子密度与极板间距成正比例关系，平均电子温度与极板间距成反比关系，其均匀性与极板间距成正比关系即随着间距的增大均匀性变好。
卧室电容耦合等离子清洗机，可以直接将工件放在下电极上，但是研究发现，等离子体密度最大区域，是在等离子区域2-8cm之间，因此可以使用一个高度为3cm的支座，
支座的放置也便于工件的取放。因为支座要放置在极板上，极板温度在放电过程中会持续增高，所以在支座材料选择上面选择了不易氧化的材料。
为了满足不同工艺的需求，需要向反应腔体内部充入不同的气体。
充气系统由截止阀、流量控制器、管路以及各气体储存罐组成。
电容耦合式等离子清洗机反应室本身为不锈钢管构成，电容极板位于真空室内， 因为金属本身对于辐射具有很好的屏蔽效果，所以不需要在对装置设置单独的屏蔽装置，
辐射和干扰都非常小，不会对控制系统造成干扰。
清洗过程中运行参数包括真空度、射频输出功率、清洗时间，等都在触摸屏上显示，同时还需要调节气体流量和混合比例。
