等离子清洗刚挠结合板工艺及其优化

等离子清洗机气体清洗刚挠结合板是由孔外部向孔内部输送气体，与孔边缘接触的时间最长，清洗量最大，所以等离子清洗后，理论上孔中间的清洗量最小，孔边缘的

清洗量最大，即孔中间直径稍小于孔边缘直径。

等离子清洗的优化研究

通过等离子清洗机的单因素试验分析了CF4流量、O2流量、处理功率、处理时间四个因素对试验指标的影响趋势。

等离子清洗的单元素分析

             CF₄流量的影响                                                          O₂流量的影响

随着CF4流量的增大，δ值越来越小，即孔壁清洗效果越来越好。  O₂流量在240cm³/min左右时，所得到的孔壁效果较好。

              处理功率的影响                                                       处理时间的影响

当功率较小时，δ值基本没变化。当功率继续增大时，孔壁的均匀性越来越差。

当功率增大时，刚挠结合板的处理温度会越来越大，此时等离子蚀刻反应活性变大，而刚挠结合板不同部位蚀刻速率有差异，造成孔壁不同部位孔径很不均匀。

当处理时间居中时，孔壁清洗均匀性较好。当清洗时间较小或者较大时，孔壁的均匀性都不能得到保证。