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2019年9月11日上海沛沅仪器设备有限公司产品技术总监受中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所邀请，与纳米
加工平台有关人员技术交流。介绍了当今等离子体设备的应用情况,并讨论相关设备的操作和工艺手段。
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