一、沛沅等离子体清洗机日常使用过程中的维护保养方法：
1、按照设备操作方法规范使用设备;
2、留意实验室电压是否稳定，电压不稳可能会导致设备保险丝熔断以及射频灯源损坏;
3、定期清洁真空腔内壁，以免内壁上的污染物积累成为污染源;(可用无尘布/无尘纸蘸一点酒精、丙酮或异丙醇轻轻擦拭内壁表面。如果用标准的实验室玻璃器皿清洗方法不能去除污染物和污染物影响等离子体实验时，等离子体腔室可能需要更换。)
4、平时注意真空泵-等离子腔体尾部的管路连接件以及三通阀与舱门的接口处是否松动，如有松动请及时拧紧。
5、不建议将等离子和真空泵连续运行时间超过 1 小时的处理，且在处理完毕后，设备的主电源应关闭，以防止过热和可能的损坏;
6、配套油泵泵浦系统留意泵油颜色和油位变化，并及时添加和更换泵油;配套干泵泵浦系统若实验室湿度高需要定期排水汽，使用时间达到 5000 小时建议做一次维护保养;
7、当真空腔室内处于低压状态时，不要强行打开前盖舱门，因为这会损害真空腔室。
8、请勿将输入电流要求超过 7 安培的真空泵电源线插头接入等离子体清洗机后部真空泵电源接口;
二、等离子体清洗机不能产生辉光会是什么原因?
1)实验室电压不稳，设备保险丝熔断;
2)等离子主机射频灯故障，无法提供产生辉光所需的射频光源;
3)真空密封性可能存在漏气问题，无法达到产生辉光所需的真空负压环境;
三、等离子体清洗机不能产生辉光如何解决?
1、灯管测试法：
原理：灯管测试由高频发生器、耦合器和灯泡三部分组成。它是通过高频发生器的电磁场以感应的方式耦合到灯内，使灯泡内的气体雪崩电离，形成等离子体，等离子受激原子返回基态时辐射出紫外线，灯泡内壁的荧光粉受到紫外线激发产生可见光。
操作方法：真空泵不用抽真空，将石英片托从等离子主机真空腔室内取出，将测试灯管放入等离子主机真空腔内壁，将 RF 射频开关打到“HI”档，观察测试灯管是否能亮;
• 若测试灯管无法点亮且保险丝没有熔断，请联系我司售后工程师接洽处理;
• 若测试灯管能够点亮，请检查设备真空是否存在问题;
四、设备真空问题如何排查?
如果您未选用我们推荐配备的真空泵浦系统可联系沛沅售后了解具体相关抽速和真空泵要求;若无法满足要求，不能产生辉光的真空问题可能和您选用的真空泵浦系统有关;
如果您使用的是我们推荐配备的真空泵浦系统，并且选配了等离子配套的真空监视单元或者气体流量控制混合仪，通过真空监视单元或者气体流量控制混合仪我们可以科学地获取实验所需的真空负压参数。
