等离子清洗机的不同清洗模式

将样品放置于阴极上，此时清洗速度较快，同时因为未在阴极板上，阴极板实际上直接接地，相对电位较低，故对元器件的损伤也较小，适用于不易受电子损伤的器件进行较强的清洗。

该极板排列如图所示，从上到下分别为阳极—阴极—阳极—阴极，2 个极板为1 组。

将样品放置于阳极上，此时清洗速度最快，是最具侵蚀性的加工工艺，因为样品是直接置于阳极上，故对敏感元器件的损伤可能性最大，适用于对非敏感器件高强度的清洗。

该极板排列如图所示，从上到下分别为阴极—阳极—阴极—阳极，2 个极板为1 组。