PLUTO-30(30L)等离子清洗机

专用气体输送系统，提供气体分配均匀性和灵活的气体分配方法

不同工艺模式（RIE、下游等离子体等）的柔性电极配置

独特的射频系统提供卓越的工艺重复性和处理效率

全自动处理能力

图形用户界面支持配方编辑器、配方驱动流程并提供实时流程信息

台式设计需要较小的占地面积

典型应用

表面活化

提高表面能量以提高材料粘合性：预压模粘合；预焊线粘合

增强表面胶体流动性：预成型；预倒装芯片下溢

表面粗糙度和蚀刻

降低表面应力，改善表面粘结性

灰化和表面清洁

Plasma等离子蚀刻（配备RIE配置)

电介质/III-IV材料

纳米涂层（配备液体前体输送装置）

耐水纳米涂层：印刷电路板表面处理

防腐纳米涂层：医疗器械，医疗植入物