1. 真空腔规格: 材质6061-T6铝合金 240mm*300mm*200mm
2. 电极:平板气浴电极,材质6061-T6铝合金
3. 电极尺寸:205mm *205mm
4. 频率:13.56MHz (可选配40KHz射频等离子源)
5. 功率:0-500W连续可调,精度1W,可在设备运行中随时调整参数
6. 气体控制:针式气体流量阀, 60-600ml 2路气体
7. 真空计:电偶式真空计,精度:0.01mTor
8. 控制方式:4.3寸工业控制触摸屏,全手动控制和全自动控制两种控制方式
控制软件功能:界面显示实时工作状态